Revised by Hanlin on 10 January 2021

　 Revised by Hanlin on 10 January 2021

　洁净度等级对照

　1-9级可能是参照的ISO的标准\国际标准,

　一般我们所说的百级相当于ISO5级

　万级相当于ISO7级

　十万级相当于ISO8级

　一百万级相当于ISO9级

　3，或3530颗/m3）

　3，洁净度等级在100级以下者（1000，10000级等）通常用0.5μm粒径考核的居多；

　4，随着微电子技术的发展，洁净度等级相应提高，洁净室检测粒径也越来越小（见表），对粒子检测仪器的要求当然也越来越高，对洁净室设计和施工方而言，在验收时，可能不止用一个粒径（如0.5μm）而要用到更多的粒径，如0.3μm0.2μm?甚至0.1μm对洁净室进行检测评定。

　ISO1644国际标准中洁净室或洁净区选用的空气悬浮粒子洁净度等级

　等于或大于相应粒径的最大允许浓度（粒/m3）

　0.1μm

　0.2μm

　0.3μm

　0.5μm

　1μm

　5μm

　ISO1

　10

　2

　ISO2

　100

　24

　10

　4

　ISO3

　1000

　237

　102

　35

　8

　ISO4

　10000

　2365

　1018

　352

　83

　ISO5

　100000

　23651

　10176

　3517

　832

　29

　ISO6

　1000000

　236514

　101763

　35168

　8318

　293

　ISO7

　351676

　83176

　2925

　ISO8

　3516757

　831764

　29251

　ISO9

　8317638

　292511